（原标题：ALD，一项非常有价值的技术）

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原子层沉积 (ALD) 是一种薄膜沉积方法，它推动了半导体器件制造的持续进步。本质上，它涉及将基材依次暴露在至少两种不同的气相气体中，在这些气相气体中，表面上会发生自限性反应：第一种反应将控制量的目标化合物沉积为单层，第二种反应将修改该沉积物并重新创建一个将再次与第一种气体发生反应的表面。

由于该工艺在每个循环中沉积的量是固定的，因此只需选择暴露在衬底上的循环次数，就可以以原子级精度重复控制沉积膜的厚度。这些反应步骤的自限性使这些膜在宏观尺度上以及微观拓扑结构上在整个衬底上具有出色的均匀性。

ALD 具有多种独特优势，使其成为一项非常有价值的技术：

精确的厚度控制：ALD 可在原子级上沉积材料，确保出色的均匀性和精确的厚度控制。这种控制水平对于创建具有一致特性的超薄膜至关重要，使其适用于电子和光子学领域的广泛应用。

复杂 3D 表面上的保形涂层：ALD 具有出色的能力，即使在复杂的 3D 表面上也能产生均匀且保形的涂层。这对于涂覆高纵横比特征（例如沟槽、孔和复杂的 3D 结构）尤为重要，这些特征用于诸如全栅 (GAA) 晶体管等先进半导体器件中。

多功能性：ALD 可广泛应用于各种材料，从氧化铪等高 k 电介质到各种金属和含硅电介质。这种多功能性使 ALD 非常适合满足半导体和电子设备制造中各种薄膜需求。

增强薄膜性能：通过精心设计表面化学，ALD 能够沉积具有更好物理和电气性能的薄膜。通过设计在较高温度下保持自限性表面反应性的热稳定前体，ALD 可以生产具有优异性能的薄膜，从而促进半导体技术的整体进步。

ALD 技术已用于制造内存和逻辑芯片十多年。随着摩尔定律的不断发展，这些设备的尺寸不断缩小，ALD 的厚度控制和均匀性特性使该技术变得越来越重要。首先，ALD 对于通过光学光刻技术对结构进行图案化至关重要，这种结构的重复尺寸小于光学分辨率允许的重复尺寸，这种工艺称为自对准多重图案化。此外，较小的尺寸需要更精确的薄膜厚度控制，以确保设备中数十亿个电路都具有相同的电气特性。

然而，随着简单的缩放开始达到实际极限，新的架构要求有源结构改变方向并进入三维空间。例如，逻辑晶体管已经从平面器件转变为垂直鳍片结构（所谓的 FinFET）。不久之后，有源结构将再次转变，鳍片将与 Nanosheet 架构中的表面平行。现在，完全包围这些结构的薄膜沉积必须完全独立于视线 - 这项任务非常适合 ALD。同样，计算机存储内存的两大类：NAND 闪存和 DRAM 是并将堆叠成三维阵列，这需要在极高表面积的水平特征上沉积薄膜。

进入三维的挑战不容小觑。随着设备结构缩小并变得更加复杂，对精度的需求变得更加关键。随着垂直 NAND 和 3D DRAM 等 3D 架构的出现，该行业正在超越传统的视线沉积方法。这些新架构需要在隐藏表面上沉积保形涂层，ALD 凭借其自限性和表面控制反应机制可以实现这一点。这种能力至关重要，因为它允许在复杂 3D 结构的所有表面上创建均匀的薄膜，从而确保可靠的设备性能。

ALD 成功的关键在于化学前体，随着氨基硅烷、金属脒基化物和烷基酰胺等的引入，化学前体取得了显著进步。例如，可以设计前体以在更高的沉积温度下保持自限性反应，从而改善沉积膜的电气和机械性能。EMD Electronics 拥有广泛的 ALD 前体产品组合（参见元素周期表图片，其中突出显示了目前正在沉积的各种元素）。

此外，通过在工业相关设备中执行此类薄膜沉积工艺，以及通过设计专有设备测试工具来了解前体和工艺条件如何结合起来以满足半导体器件的电气和物理需求，我们可以快速有效地开发新的前体以满足这些新架构的多样化需求。同样，人工智能增强分子建模使我们能够根据半导体器件制造商的技术路线图快速开发新的解决方案。

追求更快、更可扩展的沉积方法是一项持续的挑战，这反映了该行业想要跟上大规模生产环境中对先进材料日益增长的需求的雄心。未来的趋势不仅有望增强 ALD 技术，而且还可能在蚀刻和表面处理等其他领域的原子级材料工程中设定新的基准，这预示着技术制造商及其日益复杂的集成方案将迎来一个激动人心的时代。

一个新兴领域是区域选择性沉积：通过表面改性和化学选择，精心管理基板与前体之间的相互作用，该工艺允许在基板的特定区域高度有针对性的薄膜生长，同时不影响其他区域。这种工艺可以实现自对准功能，并消除昂贵的光刻步骤。

https://semiwiki.com/semiconductor-services/346050-mastering-atomic-precision-alds-role-in-semiconductor-advancements/

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